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单电子晶体管的研制和室温下单电子效应的观察

程子川  蒋建飞  蔡琪玉  赵小林  
【摘要】:用扫描隧道显微镜(SIN)在以Si为衬底的Ti膜上加工成单电子晶体管结构,在室温下观察到单电子库仑阻塞效应,库仑台阶及振荡现象.在栅端加不同电压,通过STS测试得到栅控的Ⅰ-Ⅴ特性.对实验结果进行了初步分析.

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