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纳米半导体电容型CO_2气体敏感元件研制

廖波  张捷  韦钦  
【摘要】:本文采用共沉淀与机械物理固相效应相结合的方法,经过电价掺杂半导化工艺制备了高纯纳米n型BaTiO_3,以此半导化粉体为原料,进行异质p型CuO半导化粉体掺杂,烧渗导电银浆,研制了一种新型纳米CuO-BaTiO_3半导体电容型CO_2气敏元件。经CO_2气敏特性测试动态实验装置,考察了该元件对CO_2气体的敏感性能。实验结果表明,所制元件的电容性质在400-750K温度范围内,对CO_2气体均呈现一定的敏感特性,属于电容型气敏元件。该元件可测CO_2气体浓度范围广(0%~95%),低浓度(0—5%)范围内,浓度与电容变化呈线性关系,利于直接标定,是一种很有发展前途的新型气敏元件。

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