【摘要】:ZnO/SiO_2/Si结构的SAW滤波器因其能够和其它电路集成而在RF领域受到越来越多的关注。本文介绍了该结构的工作原理,给出了在设计过程中的衬底参数选择,并对叉指结构进行了设计,最后用Matlab中的SIMULINK工具对镜像阻抗连接结构进行了特性模拟,并得到了其频响曲线。
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