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用于微波/毫米波段的微机械电容式开关的结构研究

丁玲  秦元菊  忻佩胜  茅惠兵  赖宗声  
【摘要】:本文论述了应用于微波和毫米波段的MEMS微机械电容开关的结构、原理及工艺流程和制作方法。执行开关动作的元件是一层薄的金属薄膜桥,根据外加偏压它有两种状态:动作或静止。当薄膜在这两种状态之间转换的时候,微波信号也在开和关之间转换。本文所设计的开关执行电压为30V,截止时开关的电容C_(off)约为4.4pF,导通时开关的电容C_(on)约为42fF。该器件为下一代低损耗,高线性度的通信微波电路提供了应用前景。

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