一种微机械光开关理论分析

贾玉斌陈良惠李玉璋

【摘要】：对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析,利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析;基于机械和电学特性导出了弯曲和电压的关系,并给出阈值电压的解析表式。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	杨永生;;MEMS器件及其在生物医学上的应用[J];装备制造技术;2011年08期
2	;[J];;年期
3	;[J];;年期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
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9	;[J];;年期
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12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
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16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	贾玉斌;陈良惠;李玉璋;;一种微机械光开关理论分析[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2	张培玉;郝一龙;李婷;王颖;刘诗美;陈文茹;武国英;;微机械光开关中的微扭转镜阵列[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
3	王海翔;孙萍;;微机械和微机器人研究的最新进展[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（上）[C];2001年
4	李海军;杨拥军;徐永青;郑七龙;;一种新型光通信用微机械可变光衰减器[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集（下册）[C];2006年
5	蔡洁;廖小平;朱健;;Ku波段交直流分离的MEMS开关的模拟与设计[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
6	沈雪瑾;侯利程;刘谨;;硅微机械动平板表面粘附阻力[A];2006全国摩擦学学术会议论文集（二）[C];2006年
7	祝安定;刘宇翔;汪飞;夏安东;黄文浩;;光摄技术在驱动微机械器件方面的应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）[C];2003年
8	汪学方;马斌;任继文;刘胜;张鸿海;吕民富;;冲击试验机原理及其设计[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）[C];2004年
9	郭书祥;;应用ICPF高分子素子的新型微小医用泵(英文)[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
10	盛志瑞;王明华;李锡华;江晓清;杨建义;;1×8 MMI型玻璃基光功分器的研制[A];浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前3条

1	吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
2	熊斌;栅结构微机械振动式陀螺[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2001年
3	刘盛;旋转体视显微检测理论及装置研究[D];浙江大学;2003年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
2	陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
3	郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
4	陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
5	林伟俊;电容式微机械加速度传感器检测电路研究[D];浙江大学;2010年
6	李宇;低功耗低失调数字体温计的研究与设计[D];湖南大学;2006年
7	赵翔;智能轮椅的BCI人—机接口技术研究[D];天津大学;2007年
8	蒋锋;全光纤速度干涉仪中耦合器对系统影响的研究[D];南京理工大学;2008年
9	高健;基于ARM处理器的捷联系统研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10	罗荣锋;MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究[D];华中科技大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	;ZnO薄膜的MOCVD生长技术[N];科技日报;2006年
2	广东阮树森;一款人体感应开关[N];电子报;2002年

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