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一种微机械光开关理论分析

贾玉斌  陈良惠  李玉璋  
【摘要】:对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析,利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析;基于机械和电学特性导出了弯曲和电压的关系,并给出阈值电压的解析表式。

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