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氮氧化硅薄膜的光学特性及其在光波导中的应用

但亚平  岳瑞峰  王燕  刘理天  
【摘要】:氮氧化硅(SiO_xN_y)有许多优良的特性,特别是其折射率可调、击穿电场高,因而在光学器件和深亚微米MOS技术方面有广阔的应用前景。本文重点介绍SiON的光学特性及其在光波导中的应用。

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