微波等离子体辅助化学气相沉积方法低温合成定向碳纳米管阵列

【摘要】：正 自碳纳米管被发现以来,这种准一维纳米新材料由于其优异的力学、电学、储氢等理化性质,具有非常重要的理论研究与实际应用价值,十分引人注目。碳纳米管阵列更可作为场致发射器件,有望应用于冷阴极平板显示器或纳米电子学等前沿领域,成为碳纳米管研究中的热点。 在已有报道的多种制备碳纳米管阵列的方法中,以孔性硅或孔性Al_2O_3作为模板剂,通过化学气相沉积制备的方法较为普遍,但此类方法往往需要在较高温度(高于700℃)下进行,对于碳纳米管阵列最诱人的应用前景之一——平板显示器而言,要求在显示玻璃表面直接生长碳纳米管阵列,而目前最好的显示玻璃的形变温度只有666℃,因此实现碳纳米管阵列的低温合成十分重要。