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阵列式硅压阻压力传感器的研究

王长虹  程颖  陶文中  
【摘要】:介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器的研究,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体。

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