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硅力敏应变计的氮化硅钝化新技术研究

钱静波  
【摘要】:介绍一种硅力敏应变计,通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验,测试结果表明, 氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技术制作的同类产品。

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