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叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解

何晓平  彭勃  苏伟  
【摘要】:本文采用结构力学的力法,建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型。与材料力学方法相比,简化了推导过程,得到了便于微机计算的结论。

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