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振动棒式硅角速率传感器

吴紫峰  陶文中  王长虹  李娟  程颖  邹成斌  
【摘要】:本文阐述了一种采用硅微机械加工技术研制的振动棒式硅角速率传感器,并介绍了其设计原理、制作工艺及应用前景。

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