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双E型硅压力传感器的研制

唐世洪  
【摘要】:本文介绍了用双E型硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。

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