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硅-蓝宝石高温压力传感器发展现状

高成臣  
【摘要】:本文论述了硅-蓝宝石高温压力传感器的发展历史,发展过程,技术发展的不同阶段,比较了采用玻璃粉烧结工艺制作压力传感器和弹性双膜片结构传感器的各自优缺点,对今后高温压力传感器的发展方向提出了看法。

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