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MeV ION IMPLANTATION AND APPLICATION(Invited)

【摘要】:正 This paper briefly reviews MeV implantation studies and applications to semiconductors earned out at Beijing Normal University. The reduction of secondary defects formation in silicon and the activation of Si implants in GaAs are emphasized Selected examples are presented.

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4 Vitali I.Yatskevich;Ali Abou-Elnour;Klaus Schünemann;;COMPUTER AIDED MODELING OF GaAs MESFET STRUCTURES VIA MONTE CARLO METHOD[A];Proceedings of the 1994 International Conference on Computational Electromagnetics and Its Applications[C];1994年
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