用于微波等离子体激励的微带环缝谐振器的设计

【摘要】：本文介绍了一种新型的微带环缝谐振器(MSRR)的设计方法。它具有平面化、小型化的特点,且结构简单。谐振器的电路尺寸为波长的1/2,调整缝隙的宽度和偏转角度使谐振器和馈电端相匹配。这种谐振器主要应用于低压小功率微波等离子体源中。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合。

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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张少君;廖斌;;用于微波等离子体激励的微带环缝谐振器的设计[A];2005'全国微波毫米波会议论文集（第三册）[C];2006年
2	黄生乔;马兵;荣金龙;;微波等离子体化学法合成TiN纳米粉体材料研究[A];纳微粉体制备与应用进展——2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2002年
3	芶立;张旭波;冉均国;;微波等离子体烧结金刚石烧结体的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
4	刘天伟;邓新绿;王小英;董闯;;ECR—微波等离子体增强沉积ZrN_x薄膜结构及抗蚀性能研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
5	苏小保;;微波等离子体对PTFE/陶瓷复合介质材料表面改性的实验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
6	陈新;胡征;王喜章;陈懿;杨绍光;都有为;;微波等离子体辅助化学气相沉积方法低温合成定向碳纳米管阵列[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
7	王淑敏;张贵新;张庆;刘亮;;微波等离子体的发射光谱诊断[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
8	解宏端;孙冰;朱小梅;;常压下微波等离子体去除全氟化碳温室气体的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
9	赵约瑟;曾葆青;田浩希;赵艳珩;张文锋;;应用微波等离子体化学气相沉积法选择性生长定向碳纳米管阵列[A];第十二届全国微波能应用学术会议论文集[C];2005年
10	莫要武;夏义本;黄晓琴;王鸿;;MPCVD法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石薄膜的研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年

中国博士学位论文全文数据库

前9条

1	解宏端;常压下微波等离子体处理四氟化碳的研究[D];大连海事大学;2009年
2	王学海;负载型γ-Al_2O_3催化剂上CO还原SO_2的研究[D];中国科学院研究生院（大连化学物理研究所）;2006年
3	朱峰;氧化镓准一维纳米材料制备、特性及应用的基础研究[D];上海交通大学;2006年
4	宋旭波;等离子体及化学气相沉积法合成一维纳米材料及性能研究[D];北京大学;2008年
5	张先华;一维纳米材料的合成与组装以及光谱性质表征[D];厦门大学;2003年
6	张体强;质谱法用微波等离子体常压解吸电离源的研制[D];浙江大学;2012年
7	唐金兰;微波等离子推力器谐振腔的数值模拟与小推力测量实验研究[D];西北工业大学;2002年
8	鲍卫仁;煤基原料等离子体转化合成的基础研究[D];太原理工大学;2010年
9	王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	徐晓文;微波等离子体产生及甲烷制氢应用初探[D];大连海事大学;2011年
2	刘长林;大气压微波等离子体射流装置设计及实验研究[D];武汉工程大学;2011年
3	王永明;微波等离子体低温CVD金刚石膜工艺和机理研究[D];武汉理工大学;2004年
4	张宝芳;微波等离子体的静电探针测试系统的研究设计[D];电子科技大学;2008年
5	张晓辉;同轴ECR微波等离子体系统设计[D];大连理工大学;2008年
6	李建平;微波等离子体强化内电解处理分散艳蓝E-4R溶液[D];武汉科技大学;2005年
7	梁继然;自支撑优质金刚石膜制备及红外透射特性研究[D];天津理工大学;2005年
8	李黎;微波等离子体强化内电解降解活性艳蓝KN-R溶液的工艺和研究[D];华中科技大学;2005年
9	许银玉;微波等离子体等方法修饰碳纳米管及其在葡萄糖传感器中的应用[D];湖南大学;2006年
10	符冬菊;等离子条件下纳米洋葱状富勒烯的合成研究[D];太原理工大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前4条

1	;“九五”期间仪器仪表科研成果展示[N];中国机电日报;2001年
2	江国成;天然气：开辟新用途[N];中国商报;2000年
3	主持本报首席记者陆慕寒　嘉宾武汉科技学院副院长曾庆福;十年磨一剑今日把示君[N];中国纺织报;2010年
4	吴琼;引人瞩目的新材料金刚石薄膜[N];中国电子报;2000年

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