MEMS技术在微小型探测系统中的应用

【摘要】：微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术,目前,其研究领域已扩展到了射频与微波领域,并有继续向毫米波频率扩展的趋势。本文结合RF MEMS技术研究的最新进展,研究了如何利用最新的RF MEMS技术设计微小型探测系统,以实现探测系统的小型化、低功耗和高性能。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	陈勇华;;微机电系统的研究与展望[J];电子机械工程;2011年03期
2	陈文英;;松下2011年将进军医用微机电系统市场[J];电子机械工程;2011年03期
3	李硕;侯攀峰;缪惠茹;;基于微型仿生机器人的研究状况[J];科技致富向导;2011年24期
4	常洪龙;白滨;焦文龙;谢建兵;秦子明;苑伟政;;大输出微控制力矩陀螺的设计[J];传感技术学报;2011年08期
5	武建军;封维忠;于玮;;基于MEMS三维磁阻传感器的电子指南针的研究[J];传感器与微系统;2011年08期
6	苏虎平;沈三民;安震;刘文怡;刘龙飞;任伟;;基于加速度计的陀螺三轴角速率提取算法研究[J];传感器与微系统;2011年07期
7	凌浩;李建华;刘玉生;郭卫斌;何高奇;;表面微加工MEMS三维模型的局部变动[J];华东理工大学学报(自然科学版);2011年04期
8	刘梦伟;汪承灏;李俊红;;基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
9	廖明杰;王力;杜晓松;谢光忠;胡佳;蒋亚东;;基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展[J];电子器件;2011年04期
10	梁晋昌;潘盛辉;韩峻峰;林川;;汽车加速度数据采集系统的设计[J];传感器与微系统;2011年07期
11	汪为民;陶逢刚;颜胜美;张建飞;姚军;;新型分立倾斜式微变形镜研究[J];中国激光;2011年07期
12	赵兴海;鲍景富;杜亦佳;高杨;郑英彬;;MEMS技术在THz无源器件中的应用[J];传感器与微系统;2011年07期
13	刘晓丽;;微机电系统(MEMS)的加工工艺[J];黑龙江科技信息;2011年20期
14	赵志方;常佶;;基于MEMS和CORTEX-M3的微惯性测量单元研制[J];微计算机信息;2011年07期
15	;飞思卡尔推出用于测量海拔的高精度压力传感器[J];电子质量;2011年07期
16	;意法半导体(ST)推出全球最小的3轴陀螺仪封装尺寸缩减近半[J];电子与电脑;2011年09期
17	谭庆华;;推动消费类电子智能应用的MEMS多传感器集成方案[J];集成电路应用;2011年08期
18	;征稿启事[J];固体电子学研究与进展;2011年03期
19	刘大为;李亮亮;李敬锋;;微型热电器件应用的最新研究进展[J];中国科技论文在线;2011年08期
20	陶冶;兰聪花;;基于无线传感网络的森林灾害预警系统研究[J];电脑知识与技术;2011年21期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张俊峰;李兴国;娄国伟;;MEMS技术在微小型探测系统中的应用[A];2005'全国微波毫米波会议论文集（第二册）[C];2006年
2	王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
3	陈十一;Gary D Doolen;聂小波;;应用格子Boltzmann方法(LBM)模拟微机电系统(MEMS)中的流动[A];自然、工业与流动——第六届全国流体力学学术会议论文集[C];2001年
4	王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
5	贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
6	毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集（上）[C];2000年
7	徐景硕;;基于振动理论的微惯性测量元件[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集（下）[C];2001年
8	郭永献;贾建援;梁丽萍;;MOMES光开关的研究现状及展望[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）[C];2007年
9	何庆;索智群;乔东海;;单晶硅电容式低频传声器的设计和制作[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
10	潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;;防粘连硅微电容传声器[A];2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2	曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
3	钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
4	鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
5	余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
6	范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
7	孙吉勇;MEMS光栅光调制器阵列及投影显示系统的光学分析和实验[D];重庆大学;2008年
8	黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
9	李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
10	赵志强;一种基于MEMS和细胞电场效应的细胞融合方法的研究[D];重庆大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
2	熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
3	邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
4	李冠男;基于UV-LIGA技术的毛细管电泳芯片设计与制备[D];华中科技大学;2006年
5	刘佳;基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究[D];西北工业大学;2006年
6	龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
7	胡宁;基于SOI的细胞电融合原理性芯片的研制与细胞排队及融合实验研究[D];重庆大学;2007年
8	王晶东;基于激光位移量测量的微小摩擦力测试系统研究[D];长春理工大学;2008年
9	张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年
10	徐景辉;MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究[D];西北工业大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2	本报记者韩义雷　过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
3	恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier　恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
4	本报记者梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
5	;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
6	曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
7	本报记者许泳;MEMS：越感知越火热[N];计算机世界;2010年
8	本报记者王虹;微型机械于微细处见神奇[N];中国机电日报;2001年
9	;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
10	本报记者赵艳秋;MEMS：软件算法是关键[N];中国电子报;2008年

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