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RF-MEMS电感趋肤效应和邻近效应的分析

龙海波  张跃江  冯正和  
【摘要】:硅上微电感是RF-MEMS中至关重要的元件。本文提出一种改进的PEEC法用于分析和计算它的趋肤效应和邻近效应。该方法结合了PEEC法和Weeks提出的直导体趋肤效应分析法,据此法所编制程序的仿真结果与已有文献上给出的数据很好的相吻合。

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