基于Si基MEMS技术的0.5THz单脉冲天馈系统的研究

【摘要】：本文研究了一种基于Si基MEMS工艺的,工作于0.5THz的单脉冲天线馈源。该单脉冲天线馈源由两个H面喇叭天线和一个波导型平面和差网络,以及一段添加销钉的相位匹配波导组成。该天线的结构便于采用Si基MEMS干法刻蚀工艺制备。采用Si基MEMS工艺可以满足THz频段天线对加工精度的苛刻要求。完成了天线单元与和差网络的一体化仿真设计。所设计的单脉冲天馈系统具有电轴偏移度小,零深较低,双峰不平度较好等优点。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	石云波,刘俊,张文栋;MEMS中的封装技术研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2	黄子伦;控制MEMS封装成本的圆片规模封装[J];电子与封装;2003年06期
3	焦正,吴明红;日本基于MEMS传感器的研究进展[J];传感器世界;2004年01期
4	金铃;MEMS技术研究及应用[J];现代雷达;2004年12期
5	孟宝文;王全收;;System Four数字传感器工作与测试原理分析[J];物探装备;2007年S1期
6	李志坚;微电子机械系统(MEMS)发展展望[J];电子商务;1997年01期
7	邵雯雯,惠春,徐爱兰;BST-MEMS移相器开关[J];电子元件与材料;2004年10期
8	赵继德,李应良,马传龙;共面波导结构MEMS滤波器的设计[J];电子元件与材料;2005年02期
9	吴群,傅佳辉;MEMS射频与微波应用技术新进展[J];电子器件;2001年04期
10	俞武嘉,李建华,傅建中,陈子辰;面向MEMS的CAD显示设计研究[J];机电工程;2001年05期
11	卿健,石艳玲,赖宗声,朱自强;MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用[J];微电子学;2002年04期
12	方舟 ,严寒;微电机械系统MEMS[J];光机电信息;2001年01期
13	鞠挥;迅速进入光开关市场的MEMS[J];光机电信息;2001年06期
14	John C.Dvorak;趣闻轶事[J];个人电脑;2003年02期
15	杨拥军,梁春广;MEMS光开关技术进展[J];世界产品与技术;2003年06期
16	郭方敏,朱守正,魏华征,郑莹,朱荣锦,忻佩胜,朱自强,赖宗声,杨根庆,陆卫;相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制[J];华东师范大学学报(自然科学版);2004年01期
17	于婷,周兆英,宋宇宁;基于微转换器的MEMS传感器研究平台[J];仪器仪表学报;2004年S1期
18	方绪文,唐洁影,黄庆安;微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析[J];半导体学报;2005年02期
19	廖勇明,董立军,韩敬东,陈大鹏,叶甜春;用SiH_2Cl_2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究[J];电子工业专用设备;2005年01期
20	赵继德,李应良;全光网络中的MEMS光开关[J];激光杂志;2005年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	朱思衡;刘埇;袁勇;吕昕;;基于Si基MEMS技术的0.5THz单脉冲天馈系统的研究[A];2009年全国天线年会论文集（下）[C];2009年
2	陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3	梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
4	于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5	张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
6	胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
7	李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
8	张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
9	陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
10	赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2	杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3	张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
4	王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
5	肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
6	李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
7	王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学（北京）;2011年
8	关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
9	杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
10	文春明;基于MEMS技术的超级电容器三维微电极阵列制备及表征方法研究[D];重庆大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
2	付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
3	曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
4	华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
5	赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
6	孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
7	苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
8	牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
9	赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
10	孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
2	;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
3	中国科学院上海微系统与信息技术研究所焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
4	易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
5	刘恕;微机电系统：从能看到能用[N];科技日报;2005年
6	;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
7	本报记者徐勐　通讯员苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
8	;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
9	记者卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
10	中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年

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