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热流微机械陀螺仪检测电路

魏静  朱欣华  褚鸿杰  苏岩  
【摘要】:热流微机械陀螺具有结构简单、量程大、抗冲击能力强等优点,在军民领域具有广泛的应用前景。但与其他MEMS传感器一样,热流微机械陀螺仪敏感结构的输出信号微弱,信号检测难度大。论文介绍基于调制解调原理的热流微机械陀螺仪测控电路的设计;热流微机械陀螺仪数字接口的设计。试验表明,采用论文所述技术实现的热流微机械陀螺仪的标度因数为0.49mV/(°·s~(-1)),标度因数非线性为1.03%,标度因数对称性为3.49%,零偏稳定性为2.17°/s。

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