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多波长全息表面形貌检测及振动分析

时轮  徐立  
【摘要】:多波长激光全息表面形貌检测系统由波长可调节的激光器、用于产生参考光和物光的分光器、移相器、抛物面镜和CCD检测系统等部分组成,介绍了多波长激光全息的检测方法,并进行了实际检测实验,同时,利用振动实验对表面形貌检测结果的可靠性进行了验证,实验证明,多波长激光全息表面形貌检测系统具有良好的抗干扰能力。

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