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阵列式静电传感器有限元仿真研究

高鹤明  许传龙  王式民  
【摘要】:电荷感应层析成像技术是近几年来发展起来的一门新型层析成像技术,其中阵列式静电传感器是其关键部分。本文基于点电荷思想建立了阵列式静电传感器的三维静电场数学模型,并应用有限元法系统地分析了阵列式静电传感器结构参数,包括电极的长宽尺寸,绝缘管道的厚度等对其静电传感器灵敏场分布特性的影响,从而为实现阵列式静电传感器的结构优化提供理论依据。

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