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基于图像分析的IC晶片缺陷分类

韦青春  吴黎明  刘俊秀  张伟彬  
【摘要】:本文针对IC晶片缺陷存在的特点,基于图像分析对其进行分类方法。通过显微镜采集IC晶片图像,首先对图像进行中值滤波以抑制椒盐噪声,再利用数学形态学开、闭滤波器组对原始图像进行平滑处理,然后通过差影法判定IC晶片是否存在缺陷,对已存在缺陷的IC晶片通过连通区域数目统计分析,从而鉴定IC晶片缺陷类型。

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