莫尔条纹技术测量相位物体的灵敏度和分辨率分析
【摘要】:对利用莫尔条纹技术测量相位物体的灵敏度和分辨率从理论上进行了分析,推导出了该方法测量相位物体的空间分辨率和角分辨率公式,并给出了这种方法的灵敏度和极限分辨率参数。从分析结果可知,根据测量对象和实际需要的不同,合理选择光栅参数和Talbot像面的位置对于提高利用莫尔条纹技术测量相位物体的测量精度有着重要的意义。
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