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一种微机械硅谐振梁加速度计

陈志勇  周斌  张嵘  
【摘要】:本文介绍了一种MEMS硅谐振梁加速度计的敏感结构设计与加工过程、电路方案和测试结果。敏感结构采用了差动音叉及杠杆增力方案,重点对杠杆结构进行了分析,提出了能够提高增力系数的细颈结构,并优化了杠杆比率。微结构的加工工艺为硅-玻璃键合,体硅深刻蚀工艺。驱动电路采用稳幅自激振荡方案。对整表进行了测试,结果为标度因数为157.5Hz/g,±1g测量范围内的非线性度为0.083%,加速度噪声达到10.51μg/rtHz。

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