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基于激光电子散斑技术的芯片热离面位移研究

袁纵横  宋美杰  熊显名  程大鹏  
【摘要】:本文基于激光电子散斑技术可测量微小位移和形变的原理,结合加速测试的手段,测试了在三个不同恒定应力等级下芯片的热离面位移,并通过大量实验数据拟合出芯片失效前的离面位移变化曲线,在相对简单的实验设备条件下,得到较高精度的热离面位移变化规律。为建立离面位移快速检测方法以及封装热可靠性分析方法奠定了实践基础。

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