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一种新型的振动剪切干涉测量技术研究

何国田  廖昌荣  黄尚廉  宋莉  
【摘要】:基于正弦相位调制的半导体激光(LD)泰曼格林干涉仪,易受到外界环境干扰而引入较大测量误差。提出一种新的对环境干扰不敏感的半导体激光正弦相位调制剪切干涉技术,给出了具体的理论分析。该干涉技术采用两个剪切三棱镜,使物光和参考光发生横向剪切干涉,有效地降低了外界干扰对干涉测量精度的影响;同时实现了物体微小振动位移的高精度测量,重复测量精度达到1 nm。实验结果表明本方法与其他消除外界干扰的方法测得的结果一致,但大大提高了干涉仪的可靠性。

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