声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究
【摘要】:声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性,切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度,给出材料基片性能指标的计算方法,进行压电材料钽酸锂的各项性能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型SAW力敏传感器的基片材料最佳切向。
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