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实现纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统

叶孝佑  高宏堂  高思田  陈允昌  
【摘要】:本文介绍了一种具有纳米测量分辨力的激光干涉仪信号处理系统的构成,指出了其关键技术.包括干涉测量非线性误差修正,干涉条纹细分、位移计数方向判别,高精度测量自校准。经实验验证,测量分辨力优于0.1nm,成功地应用在所研制的纳米激光干涉测量系统中,可以实现纳米级高精度干涉测长。

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