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含Bi层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的非c轴取向生长研究

刘晓林  陈晓琴  祁亚军  卢朝靖  
【摘要】:用 sol-gel 工艺直接在(111)Pt/Ti/SiO_2/Si 衬底上分别制备了62%a/b 轴择优、65% (014)/(104)择优、高 c 轴择优取向生长的 Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)(BNdT)铁电薄膜。发现 BNdT 薄膜的铁电、介电和压电性能强烈依赖于晶粒的择优取向,从而证实 BNdT 中自发极化矢量 P,靠近 a 轴。透射电镜观察表明,非 c 轴取向薄膜中的柱状晶粒从底电极 Pt 表面一直延伸到薄膜上表面, 而 c 轴择优取向薄膜中的晶粒细小且主要呈等轴状。讨论了含 Bi 层状钙钛矿型铁电薄膜在金属电极上的择优取向生长机制。

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