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低频机械谱术测量薄膜切变模量及微量油膜探测(英文)

L.B.Magalas  方前锋  
【摘要】:描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上的 TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗;第二种方法,用于探测钢片表面微量油膜的存在.尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象,但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.

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