BaO-Ti_O2-SiO_2-B_2O_3系玻璃陶瓷的制备和介电性能研究

【摘要】：与传统的无机材料制备方法相比,溶胶-凝胶法具有工艺过程温度低,产品成分均匀,纯度高等优点。因此本文采用这种法,以醋酸钡,钛酸四丁酯,正硅酸乙酯和硼酸等为原料合成了一种Ba O-Ti O_2-Si O_2-B_2O_3系玻璃陶瓷。实验结果表明在添加适量硼助烧剂后该种材料可在低于900℃的空气气氛中烧结。XRD分析结果显示在烧结好的玻璃陶瓷中Ba、Si、Ti、O形成了Ba_2Ti Si_2O_8相。用氢氟酸将烧结好的试样断面处的玻璃相腐蚀掉后,通过SEM可看出Ba2Ti Si2O8晶粒为大小约0.5╳4μm的梭形.利用Agilent E4991A阻抗分析仪分析了该材料的介电性能,结果表明:通过调整原料中醋酸钡,钛酸四丁酯和正硅酸乙酯之间的比例可获得的介电常数ε介于4~5(1GHz),介电损耗tanδ小于2╳10~(-3)(1GHz)的材料。因此,该材料是一种理想的适用于高频(1GHz以上)多层片式电感元件用的介质材料。