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硅温度传感器的研制

杨虹  王智鹏  杨鹏  李言荣  
【摘要】:根据半导体材料电阻率随温度变化的性质研究硅温度传感器的温敏特性,给出其基本结构和制造工艺,并对硅温度传感器的电阻~温度特性、灵敏度及工作电流进行了分析,并制作出硅温度传感器样品。

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14 吴宝元;许德章;;应变式传感器恒压源间歇供电[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2005年04期
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16 董明晓;于复生;孙杰;张桂青;张明勤;;消除参数不确定柔性系统的残留振荡鲁棒控制[J];中国机械工程;2006年08期
17 ;电子制造[J];电子产品世界;2006年22期
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1 成都 立本;简单的烟尘检测器[N];电子报;2007年
2 ;选用传感器的一般原则[N];电子报;2008年
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