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磁悬浮系统与其控制在精密工程领域的应用综述

齐彬蔚  
【摘要】:本文针对磁悬浮设备的发展历程进行了回顾,对现行的侧悬浮平台的主流结构与应用进行了阐述。随着工业标准的提升,对于控制精度的要求也随之增加,能很好满足这种要求的磁悬浮技术也随之成文了研究热点。文中提到各种国际先进的磁悬浮系统,均能达到纳米级定位精度。之后针对一些主要国际期刊论文中提及的磁悬浮系统控制方法进行了介绍与总结。因磁悬浮系统的工作需要,控制指标要达到极低的误差与较好的抗扰动与参数摄动的性能。最后对未来磁悬浮技术的发展做出了展望。磁悬浮技术必将成为今后发展的重点。

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