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量块激光干涉仪的研制

杨玉洁  姜国雁  刘涛  胡荣辉  
【摘要】:本文介绍了采用双纵模稳频的He-Ne激光辐射谱线的波长作为标准,用计数法研制的量块激光干涉仪的过程。阐述了本量块激光干涉仪对(0.5~100)mm二等成组量块和专用量块,以及各等级的特殊尺寸量块的测量。阐述了结构设计,软硬件功能设置,装置重复性、稳定性、准确性。该量块激光干涉仪是集光、机、电相结合,融软件于一体的高准确度量块测量仪器。用柔性测头接触定位的方式,实现了被测量块无需研合在辅助平板上就可以用激光波长对量块长度进行高准确度直接干涉测量。

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