声表面波压力传感器敏感基片优化选择准则研究

【摘要】：中文摘声表面波传感器的性能在很大程度上取决于制作延迟线或谐振器的压电基片。从声表面波压力传感器设计角度出发,系统性的提出了其敏感基片优化选择的基本准则。对各个准则的定义、含义和分析方法进行了详细说明。并以基于硅酸镓镧的声表面波压力传感器优化设计为例,对敏感基片切向进行了分析和优化选择。论文工作对声表面波压力传感器的优化设计具有一定的指导意义。

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前20条

1	黄显淑;国际电工技术委员会(IEC)标准——声表面波(SAW)滤波器[J];压电与声光;1987年04期
2	孔令兵,武明堂;声表面波湿度传感器[J];传感器技术;1993年04期
3	吕霞付,张崇军,王武,蔡绍皙,邓明晰;一种声表面波液体密度传感器的实验研究[J];传感器技术;1999年05期
4	陈明,王玮;声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状[J];传感器技术;2000年05期
5	李平,文玉梅,黄尚廉;声表面波谐振器型无源无线温度传感器[J];仪器仪表学报;2003年04期
6	蔡起善;声表面波(SAW)传感器(一)[J];压电与声光;1985年03期
7	陈显萼,姚海伦,李云雷,周建国;声表面波压力传感器[J];传感器技术;1992年06期
8	徐恭勤,朱文章,阎南生,陈金太;声表面波温度传感器的研究[J];传感技术学报;1996年02期
9	程卫东,董永贵,李源,朱惠忠,冯冠平;无线无源声表面波扭矩传感器的研究[J];压电与声光;2000年01期
10	施文康,韩韬;前景广阔的声表面波传感技术[J];世界产品与技术;2003年03期
11	吉小军,施文康,张国伟,韩韬;基于LGS的高温无线声表面波传感系统的研究[J];压电与声光;2005年02期
12	王大春;最近的声光新技术[J];压电与声光;1981年02期
13	秦树基;声表面波传感器[J];传感器技术;1993年02期
14	徐恭勤;SAW温度传感器的热敏特性研究[J];传感器技术;1995年05期
15	徐恭勤,朱文章,阎南生,陈金太;声表面波传感器的集总参数等效电路[J];传感技术学报;1997年03期
16	李平 ,文玉梅 ,黄尚廉;声表面波无源无线温度传感系统研究[J];电子测量与仪器学报;2002年04期
17	刘积学;马晋毅;江洪敏;肖燕;;声表面波多参数传感器发展及应用(1)[J];压电与声光;2008年05期
18	李源,冯冠平,丁天怀;一种新型声表面波温度传感器的研究[J];清华大学学报(自然科学版);1997年11期
19	韩韬,施文康;声表面波无线传感系统设计[J];压电与声光;2001年05期
20	李平,文玉梅,陈剑,黄尚廉;声表面波无源无线传感系统[J];测控技术;2002年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	周世圆;张运涛;徐春广;伍懿;;无源无线声表面波嵌入式测量理论与技术[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
2	王军峰;李平;周志坤;郑敏;杨进;;无源无线声表面波谐振器温度传感系统硬件构成[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
3	严庆文;魏益群;李业隆;沈美娥;朱嘉林;;双通道声表面波转速传感器[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
4	郑敏;文玉梅;;无源无线SAW传感虚拟仪器系统设计及性能分析[A];2004全国测控、计量与仪器仪表学术年会论文集（上册）[C];2004年
5	孙蕾;唐祯安;余隽;卢好正;焦培胜;;声表面波气体传感器无线测试系统的研究[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
6	王文;李顺洲;刘明华;;一种基于剪切型声表面波陀螺效应的角速率传感器[A];泛在信息社会中的声学——中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2010年
7	郑敏;文玉梅;李平;肖庭富;;GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
8	杨翊;刘文;;无源无线声表面波温度监测系统及其在电力系统中的应用[A];中国通信学会第六届学术年会论文集（下）[C];2009年
9	陈峰;章德;谢中华;;SAW质量传感器的实验研究[A];2007’促进西部发展声学学术交流会论文集[C];2007年
10	王艳;张淑仪;杨跃涛;;基于In_2O_3_ZnO复合敏感膜的声表面波室温H_2传感器[A];中国声学学会第九届青年学术会议论文集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

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1	杨莺;新结构声表面波质量传感器及声表面波集成声路隔离吸声技术的研究[D];浙江大学;2005年
2	雷声;基于声表面波及微纳技术的高性能湿敏传感器研究[D];浙江大学;2011年
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4	陈曦;基于纳米ZnO薄膜的Love模声表面波生物传感器的研究[D];吉林大学;2010年
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6	李平;无源无线声表面波传感器及仪器系统研究[D];重庆大学;2003年
7	应智花;甲基膦酸二甲酯质量敏感型气体传感器的制备及特性研究[D];电子科技大学;2008年
8	章安良;Y型和S型组合双声路SAW质量传感器研究[D];浙江大学;2004年
9	周连群;利用微型Lamb波传感器研究薄膜—流体的相互作用[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
10	陈晨;声光移频集成光学陀螺及Si基SiO_2波导声光移频技术研究[D];长春理工大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王磊;基于声表面波传感技术的智能刀具的建模仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2	林卓彬;声表面波温度传感器特性研究[D];吉林大学;2010年
3	徐贵鹏;声表面波的光纤检测方法研究[D];哈尔滨工程大学;2012年
4	汪可薇琪;声表面波温度传感器及其应用研究与开发[D];华中科技大学;2012年
5	卢小荣;无源无线声表面波温度传感器及应用方案设计[D];武汉邮电科学研究院;2012年
6	肖华;声表面波气体探测器控制电路设计[D];电子科技大学;2011年
7	王学俊;无线声表面波传感检测系统的设计研究[D];浙江大学;2011年
8	易鹏程;ZnO/SiO_2/Si基声表面波生物传感器基础问题研究[D];华中科技大学;2012年
9	孙蕾;用于声表面波甲醛传感器的相关系统研究[D];大连理工大学;2005年
10	林加富;声表面波气体探测器ARM控制电路设计及敏感膜工艺研究[D];电子科技大学;2012年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	;村田制造所：“村田婉童”携手“村田顽童”展示新技术[N];中国电子报;2008年
2	倪燃;智能停车场发展渐入佳境[N];中国建设报;2010年

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