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高声速SAW金刚石复合结构材料及器件研究

陈运祥  秦廷辉  谭学斌  杨正兵  伍平  杜明熙  周勇  冷俊林  
【摘要】:本文阐述了高声速 SAW 复合结构材料 SiO_2/ZnO/金刚石/Si 及其器件的研究进展情况,给出了谊复合结构材料及其器件的制作方法和实验结果。ZnO 膜体电阻率 p_v 达到1.9×10~9Ω.cm。ZnO 薄膜 C 轴垂直取向度2 σ达到2.7°.用 SiO_2/ZnO/金刚石/Si 压电材料研制出了 SAW 滤波器.其瑞利波模式相速度 Vp_0:42 36m/s:西沙瓦波模式相速度 Vp_1:7151m/s,Vp_2:11065m/s。实验发现了 HVPSAW,其相速度高达16931m/s。金刚石 SAW 器件插入损耗达到11.6dB。

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