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MEMS压电水听器的研究

马军  郝震宏  徐联  李伯权  汪承灏  
【摘要】:MEMS 水听器由于其体积小、重量轻、可集成化的特点,可应用于水下分布式传感网和声纳基阵。本文将报道用 MENS 技术制备的硅微压电水听器,它是由压电薄膜和非压电弹性膜所构成交合层状形成弯曲振动换能器,压电薄膜采用 ZnO 薄膜,谊换能器受声面积为2×2mm,此 MENS 压电水听器与跟随放大器电路一道封装在一个10×6×4mm 水密的壳体内,构成硅微压电水听器系统。它测得在20—2kHz 频率范围内灵敏度优于-192dB(相对于 1V/uPa).文中最后还讨论了提高灵敏度和展宽带宽的途径。

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