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黑色LiNbO_3和LiTaO_3晶片SAW器件研究

夏宗仁  贝伟斌  崔坤  秦晓勇  吴剑波  朱怀烈  
【摘要】:采用化学还原工艺成功地制备了 LN 和 LT 黑色晶片.在这些黑色晶片上制作了中心频率分别为36MHz 和 446MHz 的 SAW 器件.研究表明,黑片工艺显著降低了晶片表面的静电,增加了近紫外光吸收,而其他性能不受任何影响,使 SAW 器件的终测合格率提高了5-10%。

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