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大面阵微透镜阵列器件的飞秒激光三维微纳加工技术

赵恒  陈烽  刘贺炜  杨青  
【摘要】:微透镜阵列是指尺寸在微米到纳米量级的光学透镜按一定方式排列而成的阵列,每个子透镜都能聚焦和成像,给定图案或结构经过微透镜成像可以得到周期性大面积微纳图案或结构。微透镜阵列具有单元尺寸小、集成度高、设计灵活的特征,在波前传感、光聚能、光整形及光纤光束耦合器、CCD器件等方面具有广泛的应用。飞秒激光脉冲所特有的超短脉冲持续时间和超高峰值功率的特点,为微纳结构材料的制备提供了一种全新的方法和工具。飞秒激光加工可以实现石英的加工,并且无需掩膜版,操作简单,是目前微透镜阵列加工的研究热点之一。

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