大面阵微透镜阵列器件的飞秒激光三维微纳加工技术

【摘要】：微透镜阵列是指尺寸在微米到纳米量级的光学透镜按一定方式排列而成的阵列,每个子透镜都能聚焦和成像,给定图案或结构经过微透镜成像可以得到周期性大面积微纳图案或结构。微透镜阵列具有单元尺寸小、集成度高、设计灵活的特征,在波前传感、光聚能、光整形及光纤光束耦合器、CCD器件等方面具有广泛的应用。飞秒激光脉冲所特有的超短脉冲持续时间和超高峰值功率的特点,为微纳结构材料的制备提供了一种全新的方法和工具。飞秒激光加工可以实现石英的加工,并且无需掩膜版,操作简单,是目前微透镜阵列加工的研究热点之一。

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前20条

1	覃岭,邓健,钟方川,张正泉;纳秒、飞秒激光脉冲下铝等离子体发射光谱及其空间特性的比较[J];中国激光;2000年01期
2	毛方林,邢岐荣,王锴,郎利影,李术新,柴路,王清月;飞秒激光光镊横向光学力的理论分析[J];光子学报;2004年05期
3	辛建婷;刘国栋;;飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展[J];激光与光电子学进展;2009年10期
4	罗震岳;刘旭;沈伟东;薛晖;顾培夫;章岳光;;新型色散补偿薄膜的初始结构设计方法[J];光学学报;2009年09期
5	辛建婷;;飞秒激光对金属材料表面烧蚀区的XRD分析[J];高能量密度物理;2006年04期
6	李士玲;韩培高;史萌;;飞秒激光刻写z切LiNbO_3晶体形成通道光波导[J];光电子.激光;2011年06期
7	周崇喜,乔立杰,邓启凌,吴海鹰,谢伟民;大数值孔径微透镜阵列激光扫描[J];光电工程;2001年02期
8	;几何光学光学镜头、光学零部件[J];中国光学与应用光学文摘;2005年05期
9	郝劲波;忽满利;李林森;林巧文;;基于微透镜阵列的实时三维物体识别[J];光子学报;2007年11期
10	姜雄伟,邱建荣,曾惠丹,朱从善;飞秒激光诱导玻璃内析出BaTiO_3晶体[J];光学学报;2002年10期
11	邸思;徐洪奎;杜如虚;;人造复眼成像系统研究的新进展[J];光学与光电技术;2008年04期
12	黄峰;贾文武;汪岳峰;尚浩;郭双飞;;多孔径光束积分激光匀束器理论与设计[J];激光与红外;2010年01期
13	白光;飞秒激光的应用[J];激光与光电子学进展;2002年03期
14	周秦岭,刘丽英,徐雷,干福熹;近红外飞秒激光在纯石英玻璃中诱导产生点缺陷结构[J];激光与光电子学进展;2003年09期
15	徐妙华;李玉同;远晓辉;郑志远;梁文锡;于全芝;张翼;王兆华;魏志义;张杰;;飞秒激光与固体靶相互作用中产生表面电子的实验研究[J];中国科学(G辑:物理学力学天文学);2006年02期
16	倪晓昌;孙琦;王清月;巫殷忠;杨丽;贾威;柴路;;飞秒激光与金膜作用的脉冲累积效应(英文)[J];纳米技术与精密工程;2007年02期
17	杨淞,姜波,沙国河,徐大力,楼南泉,解金春;用质谱和光电子能谱研究飞秒强场中的电离动力学[J];化学物理学报;2000年04期
18	胡湛,金明星,刘航,杨景,丁大军;飞秒激光惰性气体Ar原子多次电离过程的空间分辨研究[J];原子与分子物理学报;2004年04期
19	潘传鹏,周明,刘立鹏,蔡兰,刘会霞,任乃飞,高传玉,王亚伟;双光子微加工技术与应用研究[J];纳米技术与精密工程;2004年04期
20	潘守夔,姜本学,李红军,姜雄伟,陈庆希,邱建荣,朱从善;用飞秒激光在α-BBO晶体中诱导析出β-BBO相[J];光学学报;2004年12期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	赵恒;陈烽;刘贺炜;杨青;;大面阵微透镜阵列器件的飞秒激光三维微纳加工技术[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
2	李苏宇;郭福明;杨玉军;金明星;丁大军;;超强飞秒激光在大气中传播的理论研究[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
3	陈安民;姜远飞;隋来志;刘航;金明星;丁大军;;飞秒激光照射双层金属薄膜的热分析[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
4	王攀;王晓雷;翟宏琛;胡浩丰;李璐杰;;飞秒激光在水中激发冲击波的超快数字全息诊断[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
5	杜广庆;陈烽;杨青;司金海;侯洵;;飞秒激光激发固体薄膜超快热弛豫特性研究[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
6	孙小燕;胡友旺;段吉安;;飞秒激光加工光学器件研究进展[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
7	孙海轶;徐至展;贾天卿;李哓溪;李成斌;冯东海;徐世珍;;飞秒激光对金膜烧蚀阈值的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
8	于海娟;李港;陈檬;张丙元;;飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
9	徐向兰;;激光加工在微制造技术中的应用[A];全国先进制造技术高层论坛暨第八届制造业自动化与信息化技术研讨会论文集[C];2009年
10	张宁;吴元生;邢岐荣;柴路;张伟力;张志刚;王清月;;飞秒激光啁啾脉冲放大中的光谱展宽技术[A];Strong Field Laser Physics--Proceedings of CCAST (World Laboratory) Workshop[C];2000年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	蒋小平;仿复眼六角形孔径掩埋式变折型曲面微透镜阵列研究[D];苏州大学;2011年
2	王文君;飞秒激光金属加工中的形状及形貌控制研究[D];西安交通大学;2008年
3	陈洪云;飞秒激光与铁电晶体相互作用及波导耦合特性[D];上海交通大学;2008年
4	冉玲苓;飞秒激光制备微结构及在粒子操控中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5	冉玲苓;飞秒激光制备微结构及在粒子操控中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6	陈安民;飞秒激光辐照金属超快动力学过程研究[D];吉林大学;2012年
7	韩艳华;飞秒激光在玻璃和半导体表面诱导微结构[D];哈尔滨工业大学;2010年
8	韩艳华;飞秒激光在玻璃和半导体表面诱导微结构[D];哈尔滨工业大学;2010年
9	李岩;飞秒激光微纳加工制备研究[D];吉林大学;2010年
10	吴东;基于激光技术的复杂结构和功能性器件研究[D];吉林大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	高巍;双光子聚合加工非球面微透镜的研究[D];吉林大学;2010年
2	姬兴国;飞秒激光金属表面着色技术研究[D];长春理工大学;2011年
3	孙桂婷;基于飞秒激光双光子吸收的三维微纳加工系统的研究[D];吉林大学;2012年
4	牛明生;飞秒激光对双折射晶体损伤机制的研究[D];曲阜师范大学;2010年
5	高海燕;液相环境下飞秒激光烧蚀金属靶材的机理[D];华中科技大学;2011年
6	蔡君古;飞秒激光与透明晶体作用机理及微加工可行性研究[D];曲阜师范大学;2012年
7	李强;基于飞秒光精密加工技术金属薄膜深小孔加工研究[D];上海交通大学;2012年
8	薛念亮;飞秒激光大气中成丝的导电特性及其声学辐射的研究[D];长春理工大学;2011年
9	孔杰;相变薄膜材料Ge_2Sb_2Te_5的超快动力学研究[D];曲阜师范大学;2010年
10	周芳;微透镜阵列薄膜在OLED中的应用研究[D];苏州大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前6条

1	王迅;飞秒激光光学频率梳获国家科技进步二等奖[N];中国有色金属报;2010年
2	本报记者杨蕾;在光的世界里驰骋[N];中国质量报;2010年
3	记者杨蕾;计量院又获国家科技进步奖[N];中国质量报;2010年
4	李山;用阿秒激光脉冲“追赶”分子内的电子[N];科技日报;2010年
5	王平;创新科技填补国内空白技术应用引领先进时代[N];大众科技报;2009年
6	喜悦;科学家首次在玻璃内部制成衍射光栅[N];科技日报;2001年

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