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极低散射光学表面微观形貌评价技术研究

张晋宽  刘耀红  滕霖  
【摘要】:反射镜是影响激光陀螺性能的关键元件之一。反射镜的散射(主要是背向散射)是激光陀螺闭锁的主要来源,反射镜基片表面微观形貌对反射镜的光学性能起到决定性的作用。由标量散射理论可知,光学表面的粗糙度值越小,表面散射越小,但表面粗糙度是空间域上的评价参数,是一个统计值,不同加工方法获得的表面微观形貌,它们的粗糙度值相近,但形貌图不同。本文结合功率谱密度和光栅衍射理论,建立了反射光栅模型,对反射镜基片表面的微观形貌进行测量、分析和评定,以此来指导反射镜加工与检测。

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