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干涉条纹自动判读关键技术研究

李浩然  苏俊宏  葛爱明  杨利红  
【摘要】:随着薄膜器件的大量使用,尤其是在光电技术、微电子器件中的广泛使用,薄膜技术的应用变得更为广泛。不仅用于光学工程领域,也被广泛地应用于微电子技术、通讯、宇航工程等各种不同的领域。对薄膜性能的提升,膜系优劣的评价提出了更高的要求。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼-格林型干涉系统,采集被测薄膜的干涉条纹样片,通过数字图像处理算法编制软件,从而实现对薄膜样片厚度的自动化测量。干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。

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