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基于同步相移剪切干涉的表面测量技术研究

王红军  田爱玲  刘丙才  王春慧  
【摘要】:近年来,相移剪切干涉技术是一种高精度的表面轮廓测量技术。在该项技术中,为了获得待测光学表面的信息,必须采用相移技术,但由于相移过程是在时域实现的,测量结果必然受到外界环境的影响。同时,形成干涉的两束光是通过分束棱镜分成两束光,剪切过程和相移过程分别在两束光中通过光机系统实现,因此,测量精度将会受到影响。为了解决这一问题,基于双折射理论和衍射技术,本文采用非线性光学器件实现相移剪切干涉系统,该系统可以同步实现相移剪切干涉,且实现过程中横向剪切的两束光采用共光路技术,从而可以有效解决现有横向相移剪切干涉中存在的问题,有效提高相移剪切干涉的测量精度。

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