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磁控溅射法制备镍膜热敏电阻特性的研究

翟于嘉  蔡长龙  黄静  刘欢  周顺  刘卫国  
【摘要】:目前,红外传感器技术在军事及民用等诸多领域具有广泛的应用前景。测辐射热计是主流的低成本非制冷红外热探测器之一。热敏电阻薄膜是测辐射热计的核心元件,由于金属材料用做热敏电阻时,具有线性范围宽,材料资源丰富,成本低,与硅集成工艺兼容性好等优点。镍膜由于其电阻一温度曲线线性度好,化学及物理性能稳定;具有较高而稳定的电阻温度系数;材料资源丰富;容易加工;价格便宜,与微电子工艺兼容等优点。由于TCR和方块电阻是衡量测辐射热计的两个重要参数,因此需要制备TCR尽量高、方阻适中的热敏薄膜。

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