【摘要】：相移数字全息显微能高精度、非接触测量样品的三维形貌而被广泛地应用于工业微加工和生物医学等领域的微观检测。传统相移的实现需要在时间上依次完成,因而不能用于动态过程的实时测量,并且空气振动等环境因素会对测量结果造成影响。基于光栅的衍射特性,本文提出一种新型的同步相移数字全息显微装置,将同轴光路的高分辨率和离轴光路的实时测量优点结合了起来。该装置采用同轴光路,克服了空气振动对测量的影响,并且最大限度的利用CCD的空间带宽,保证了测量精度。同时,由于同步相移的实现使得该装置可以用于对样品动态过程的实时测量。利用该装置对一些动态过程进行实时全息显微测量,结合相移算法对所得全息图进行数字再现,获得了样品的三维再现图像。实验结果证实了该同步相移数字全息显微的可行性,实现了对观测样品亚微米量级的纵向分辨。