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低能离子束刻蚀自组织纳米结构研究

许晓慧  刘卫国  陈智利  
【摘要】:低能离子束刻蚀技术作为一种可选的表面加工技术,被认为是一种有效的形成自组织纳米结构的方法。因为离子束刻蚀是一个使得表面粗糙和光滑两种作用相互影响的过程,它会使样品表面产生一个多样的表面形貌。在刻蚀过程中,固体表面失去平衡稳定性,各种各样的原子推移和结构变得非常的活跃,由溅射产生弯曲变得粗糙,而由于表面扩散或者原子流动变得光滑,最终将形成自发的表面形貌,在一定条件下,就形成了有序的自组织纳米结构。低能离子束刻蚀就能够产生一个多样的表面形貌,尤其是在硅的表面,如洞、波纹、凸点和光滑表面等结构,而最为典型的是自组织纳米点状结构和自组织纳米条纹结构。

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