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PSD相位定位法检测光斑位置的理论分析与仿真

秦岚  薛联  刘敢新  
【摘要】:利用 PSD 的 RC 传输线模型,对 PSD 相位法定位原理展开了理论分析研究,得出 PSD 电极输出电流的相位响应:初步研究结果表明,基于 PSD 相位定位法的光斑位置检测方法适合于多光束同步检测;但是相位定位法的线性度比幅值定位法低,相位测量法的位置检测灵敏度随着调制信号的频率增大而增大。

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