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浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用

贾继伟  金延中  张凤翠  
【摘要】:微机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科。它将电子系统和外部世界有机地联系起来,它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号,并将这些信号转换成电子系统可以认识的电信号,而且还可以通过电子系统控制这些信号,进而发出指令,控制执行部件完成所需要的操作。本文主要就MEMS技术的特点、研究内容、技术类别、研究领域、用途以及今后的发展趋势等问题进行简要的讨论和分析。

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