收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机电系统中的粗糙面效应

方文啸  黄钦文  刘欣  
【摘要】:微机电系统(MEMS)中的粗糙面可能会导致MEMS中出现机械性能、电学性能以及光学性能方面的质量可靠性出现偏差,本文对这个领域的研究状况作了综述,并进一步介绍了本小组在该领域上的研究进展。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 缪磊;董再励;陈浩然;李文荣;王越超;;基于光学聚焦方法的热驱动微执行器位移测量[J];红外与激光工程;2005年06期
2 安鹏;苑伟政;张承亮;;基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析[J];传感技术学报;2006年05期
3 V.Dragoi;P.Lindner;H.Kirchberger;P.Kettner;;半导体硅片键合:MEMS制造工序中的成熟技术(英文)[J];电子工业专用设备;2007年01期
4 解磊;苏伟;陈泉根;;微电容加速度计系统的设计[J];传感器与微系统;2007年11期
5 严伟;张筱朵;徐帆;徐波;;MEMS设计中的2.5维六面体网格划分(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
6 李文明;李骁骅;杨月寒;刘海文;杨谟华;于奇;;微波MEMS滤波器的研究进展[J];空间电子技术;2010年01期
7 高钟毓;静电场耦合微机电系统的动态模型[J];机械工程学报;2001年03期
8 钟莹;张国雄;张涛;冷长林;;时频分析在激光多普勒信号处理中的应用[J];光学技术;2007年02期
9 宋少云;;MEMS的协同仿真[J];计算机仿真;2007年04期
10 王佩红;戴旭涵;赵小林;;微型电磁式振动能量采集器的研究进展[J];振动与冲击;2007年09期
11 任杰;樊尚春;;硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J];传感技术学报;2007年09期
12 梁庆;苑伟政;虞益挺;乔大勇;;SiO_2牺牲层刻蚀实验的研究与分析[J];压电与声光;2008年03期
13 简福建;李伟华;;MEMS工艺模拟与有限元软件接口的实现(英文)[J];光学精密工程;2009年07期
14 沈培宏;;使用激光光源的微型投影机[J];灯与照明;2009年03期
15 侯世博;李醒飞;贺少辉;;基于激光多普勒效应的MEMS的运动检测[J];传感器与微系统;2009年10期
16 嵇钧生;微机电系统及其测量问题[J];测控技术;1999年01期
17 李仁锋,文贵印,程永生;MEMS高g值加速度计力学分析[J];传感器技术;2005年07期
18 何茂先;殷晨波;涂善东;;微型传感器在汽车工程中的应用[J];传感器与微系统;2006年02期
19 曲大成;高世桥;刘玉树;;分布式微机电系统的多主体控制[J];电子科技大学学报;2006年03期
20 江长凡;杨开英;王攀;范衠;韩明;;基于遗传算法的微机电系统鲁棒性优化设计[J];计算机与数字工程;2006年08期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 许端;任剡;孙学艳;;基于MEMS技术的无人机导航系统设计与实现[A];全国第4届信号和智能信息处理与应用学术会议论文集[C];2010年
2 朱亚平;陈远知;;无线传感器网络路由协议研究[A];全国第一届信号处理学术会议暨中国高科技产业化研究会信号处理分会筹备工作委员会第三次工作会议专刊[C];2007年
3 张久蛟;张中原;张小章;何震;王银生;单宏宽;;颅骨修补同时处理硬膜下积液的技巧[A];中国医师协会神经外科医师分会第六届全国代表大会论文汇编[C];2011年
4 何伟;李自力;王晓霞;王兴;;犬双侧骨性颞下颌关节强直动物模型的建立[A];第六次中国国际暨第九次全国口腔颌面外科学术会议论文集[C];2011年
5 邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
6 李兴辉;;适用于曲面微细加工的荫罩掩膜技术[A];中国电子学会真空电子学分会第十八届学术年会论文集[C];2011年
7 焦阳;姚志远;胡正旭;;U型直线超声波电动机的小型化结构设计[A];第十六届中国小电机技术研讨会论文摘要集[C];2011年
8 李娜;段宝岩;;多尺度粗糙度对波导传输性能的影响[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
9 刘倩;吕卫;翟兴培;;基于iPhone OS架构的计步器应用软件设计[A];全国第五届信号和智能信息处理与应用学术会议专刊(第一册)[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 邓方顺;目标与粗糙面复合电磁散射特性的快速数值算法建模[D];武汉大学;2010年
2 秦三团;随机粗糙面与目标复合电磁散射的快速算法研究[D];西安电子科技大学;2011年
3 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
4 李娟;粗糙面及其与目标复合电磁散射的FDTD方法研究[D];西安电子科技大学;2010年
5 丁锐;随机介质中波散射与传播的随机泛函分析[D];复旦大学;2010年
6 薛谦忠;粗糙面波束散射研究及其应用[D];西安电子科技大学;2000年
7 闫文哲;电磁场面散射和体散射研究及其应用[D];浙江大学;2009年
8 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
9 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
10 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 汤林;随机粗糙面的光散射特性研究[D];电子科技大学;2011年
2 李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
3 韩远帅;随机粗糙面的电磁散射及其与目标的复合散射研究[D];南京理工大学;2011年
4 刘薇;随机粗糙面及其上方目标电磁散射的混合算法研究[D];电子科技大学;2011年
5 柴草;矩量法及其加速算法研究一维粗糙面与目标复合电磁散射[D];西安电子科技大学;2011年
6 王卓远;粗糙面上的统计IEM方法[D];浙江大学;2006年
7 缪元本;三维简单目标与二维导体粗糙面电磁散射的矩量法研究[D];西安电子科技大学;2011年
8 曾浩;FDTD及其并行算法在粗糙面和目标复合电磁散射中的应用[D];西安电子科技大学;2010年
9 韩焱;分形理论及信号检测技术研究[D];南京理工大学;2004年
10 程相哲;地面、植被电磁散射特性及其可视化研究[D];西安电子科技大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 本报记者 韩义雷 过国忠;无锡加快建设物联网“感知中国”中心[N];科技日报;2009年
3 徐海峰佟宇喆 王法岗;河北磁县又发掘一座东魏皇族墓葬[N];中国文物报;2008年
4 聂华苓;序《中国印象》[N];天水日报;2005年
5 首都儿研所;什么是鹅口疮[N];医药养生保健报;2008年
6 恩智浦半导体高级总监及SIP项目经理 Alain Rougier 恩智浦创新高级总监 Eef Bagerman 恩智浦营运后端创新策略总监 Caroline Beelen-Hendrikx;SoC与SiP各有千秋 两者之争仍将继续[N];中国电子报;2008年
7 本报记者 梁靓;2009年微型投影悄然兴起[N];中国电子报;2009年
8 齐成;仿金属蚀刻网印烟标要注意的问题[N];中国包装报;2007年
9 曹东;我国首颗内置传感器芯片在上海张江诞生[N];中国高新技术产业导报;2009年
10 ;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978