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Ti6Al4V合金上双层DLC膜的制备及其摩擦学性能研究

刘建立  张玉娟  杨广彬  张平余  
【摘要】:采用离子束溅射与离子束辅助沉积技术在医用Ti6Al4V合金表面制备了双层类金刚石薄膜。分别用原子力显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的形貌、结构进行了表征,在UMT-2摩擦磨损试验机上测试了薄膜在空气环境下及Hank's溶液中的摩擦、磨损性能,同时采用三电极系统对薄膜的电化学腐蚀性能进行了考察。结果表明,制备的双层碳膜具备类金刚石碳结构,薄膜样品3中的SP~3碳含量较高,与单层DLC膜相比,双层薄膜在空气环境及Hank's溶液中具有更优异的摩擦学性能。与未镀膜的Ti6Al4V合金相比,经双层膜保护的钛合金表面耐腐蚀性能明显得到提高。

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