超润滑类金刚石薄膜的制备

【摘要】：利用脉冲直流辉光放电技术在单晶硅表面制备了具有特殊结构的氧化类金刚石薄膜。在球盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在空气气氛下的摩擦磨损性能,利用 SEM 和 XPS 观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化。结果表明：该薄膜在空气下具有超润滑特性。XPS 碳谱分析表明：该氢化类金刚石薄膜在摩擦过程中没有发生较明显的氧化反应。

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1	张艳茹;杭凌侠;郭峰;宁晓阳;;直流反应磁控溅射制备a-C:H薄膜及其表面粗糙度研究[J];表面技术;2013年02期
2	程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮,谢长生,许德胜;a-C:H(N)薄膜的制备及性能[J];无机材料学报;1999年04期
3	张永炬;准自由支撑铝薄膜系统的制备及其特征表面形貌[J];台州学院学报;2004年06期
4	张玲;陈果;何小珊;艾星;何智兵;刘磊;唐永建;;基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究[J];原子能科学技术;2017年04期
5	蒲吉斌;王立平;薛群基;;多尺度强韧化碳基润滑薄膜的研究进展[J];中国表面工程;2014年06期
6	罗劲明;张海宁;温建平;;铁酸铋薄膜的电学特性及掺杂影响分析[J];化工新型材料;2017年03期
7	本刊编辑部;;新式保温薄膜[J];能源技术;1988年03期
8	黄杰雄;国凤林;;有限尺寸硬薄膜/软基底的屈曲分析[J];力学季刊;2017年02期
9	;国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J];真空;2015年06期
10	;国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J];真空;2016年01期
11	;国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J];真空;2016年02期
12	;国际薄膜大会Thin Films 2016[J];真空;2016年03期
13	驰青;;2014年全球特种薄膜销售额将达到297.7亿美元[J];印刷技术;2010年02期
14	;中国进口薄膜级HDPE供应将趋紧[J];塑料工业;2010年07期
15	;一种Sb_2S_3热电薄膜的制备方法[J];电镀与精饰;2009年07期
16	赵建社;;中棚薄膜剪裁新方法[J];西北园艺(蔬菜);2006年06期
17	;薄膜[J];中国印刷物资商情;2005年10期
18	;薄膜[J];中国印刷物资商情;2005年11期
19	李靓;姚熹;张良莹;;低介电常数多孔二氧化硅薄膜的制备与性能研究[J];固体电子学研究与进展;2005年04期
20	;[供]BOPP薄膜[J];中国包装工业;2004年01期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张俊彦;王成兵;;超润滑类金刚石薄膜的制备[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
2	周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
3	王成兵;张俊彦;;类金刚石薄膜的摩擦化学研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
4	马国佳;巩水利;张林;林国强;王明娥;孙刚;;表面形貌对薄膜疏水性能研究[A];中国真空学会2012学术年会论文摘要集[C];2012年
5	霍纯青;张跃飞;边心超;陈强;;掺氮DLC薄膜的制备与性能研究[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
6	;歷屆海峽兩岸薄膜科技研討會情況[A];第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会报告集[C];2016年
7	严冬;张凯;胡更开;;含微结构的薄膜褶皱机理和特征[A];中国力学大会-2015论文摘要集[C];2015年
8	刘贵昂;贺德衍;谢二庆;;a-SiC:H薄膜的γ射线辐照效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
9	吴卫东;冯建鸿;许华;张继成;李俊;陈志梅;唐晓红;黄勇;何智兵;唐永建;;薄膜物理与制备技术[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
10	陶明毅;;关于薄膜附着力和薄膜应力的分析和讨论[A];江苏、山东、河南、江西、黑龙江五省光学（激光）联合学术'05年会论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
2	邓小玲;锰、镍掺杂铁酸铋薄膜的制备及电磁性能研究[D];重庆大学;2017年
3	曹辉义;铜铟铝硒薄膜的制备及其性质研究[D];华东师范大学;2017年
4	居勇峰;氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究[D];电子科技大学;2012年
5	杨静凯;低辐射薄膜的热稳定性研究[D];燕山大学;2013年
6	李云良;空间薄膜褶皱及其动态特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
7	荆象阳;铋系薄膜的制备及其介电、铁电性能的研究[D];山东大学;2009年
8	何玉丹;碳化铍薄膜的制备技术与性质研究[D];中国工程物理研究院;2016年
9	罗振飞;氧化钒薄膜的制备及其电学、光学特性研究[D];电子科技大学;2012年
10	朱振;碳化硅和蓝宝石衬底二氧化锡外延薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	郑愉;类金刚石薄膜过渡层结构设计及薄膜力学性能研究[D];兰州理工大学;2012年
2	谢松林;激光薄膜损伤特性研究[D];西安工业大学;2007年
3	关瑞红;碳基薄膜场发射阴极的制备及其在OLED中的应用[D];郑州大学;2013年
4	张云香;高度取向铌酸铋钙薄膜的制备及其构效关系的研究[D];山东大学;2017年
5	李海翼;磁控溅射沉积氮化铝薄膜及其光学性能的研究[D];南昌大学;2010年
6	吴鹏;类金刚石薄膜的性能及结构的研究[D];山东大学;2009年
7	高兴婷;SnO_2:F和TiO_2:Nb薄膜的制备、结构与性能研究[D];吉林大学;2017年
8	吴丹丹;LaVO_4:Dy~(3+)发光薄膜的制备及性质研究[D];安徽大学;2012年
9	杜明军;氧化钒薄膜的制备及其光电性能研究[D];电子科技大学;2011年
10	袁想洋;氧化钨电致变色薄膜的研究[D];浙江大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	宁葆平;“降温薄膜项目落户奉化”的启示[N];宁波日报;2018年
2	本报记者于南;汉能薄膜2017年收入增长近四成提前还清担保债及利息[N];证券日报;2018年
3	黄春荣;BOPP薄膜可以降解了[N];广东科技报;2000年
4	记者黄俊峰;上海石化薄膜专用料通过鉴定[N];中国证券报;2002年
5	辽宁农科院研究员潘百涛;温室薄膜的使用与保养[N];中国花卉报;2011年
6	沈镇平;江苏首义公司易降解薄膜项目投产[N];中国包装报;2010年
7	驻德国使馆经商处赵勇平;全球BOPP薄膜市场前景光明[N];国际商报;2002年
8	鉴涛;日本PVDC薄膜消费略减[N];中国包装报;2002年
9	;薄膜背心袋冲压切割装置[N];中国包装报;2003年
10	本报记者徐德华;自主研发特种PET薄膜形成特色[N];中国包装报;2005年

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